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EB系列射频探针台

简要描述:EB系列射频探针台高达一太赫兹1THz,直接将射频针头的导波管与倍频器的导波管对接,因为省掉额外的导波管使得信号损失降低到最小,各家厂牌的倍频器都可以架设。

  • 产品型号:EB-6V mmW/EB-6A mmW
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2021-11-17
  • 访  问  量:245

详细介绍

品牌其他品牌产地类别国产
应用领域化工,电子,航天

EB系列射频探针台


奕叶射频探针台-1.png


一、EB系列射频探针台显微镜操控规格



l 在探针台右侧有大摇杆,提起90度后,可以使显微镜快速倾仰抬起,方便在测试时更换物镜镜头

l 显微镜后侧有X/Y轴调节小摇轮,可调节显微镜在x-y方向的移动,移动范围2"X2",精度1μm

l 显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮,粗旋钮方便快速调焦,细旋钮方便精确调焦,使显微镜在Z轴方向行程50.8mm,移动精度1μm



二、台面规格


l 探针台台面平整度:5μm

l 探针台左侧有摇杠可以控制台面快速上下升降6mm。在探针台加装探针卡点测wafer时方便对die的重选择

l 探针台右上方有转轮摇杆,摇动时可使台面线性上下升降,升降范围25mm,精度1μm。在探针台加装探针卡点测wafer时方便对die的复位



三、卡盘(载物台,即图中的chuck)规格


l 6" 卡盘,卡盘平整度:5μm,采用真空吸附方式吸附,带真空吸附孔,中心孔径250μm-1mm(可根据客户需求定制孔径大小),最小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm,最大能够吸住尺寸为6"X6"

l 卡盘可360度旋转,旋转角度可微调,微调精度为0.1度,带角度锁定旋钮

l 卡盘X,Y轴调节旋钮可以控制卡盘做X-Y方向的移动,移动范围为6"X6",移动精度为1μm,为方便点测的稳定性,带有锁住功能。如果点测       6"wafer的时候,可以保证6"wafer的每一点都能够点测到


四、性能



l 镀金真空吸附卡盘: 对应可选4" ,6",8",12"产品

l 大旋钮移动卡盘台,X-Y方向行程:6"-6"

l 卡盘快速拉出装置便于放置/拿去样品

l 线性无回差调节

l 台面快速升/降行程:6mm,精调升/降行程:25mm

l 样品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"

l 卡盘平整度: 10um

l 卡盘旋转角度:0~360°

l Chuck Theta: ±15

l 大旋钮滑台X-Y方向精度: 1um

l 台面上/下升降摇杆/旋钮

l 显微镜倾仰装置


五、附件


l 显微镜倾仰装置

l 镀金卡盘

l 射频测试探头/电缆

l 有源探头

l 低电流/电容测试

l 高压测试

l 激光修复

l CCD/数字相机,USB接口

l 探针卡/封装/PCB板夹具

l 加热装置

l 防震桌

l 屏蔽箱




评估射频mmW探针台注意事项:

1.防震桌

来自于地的振动噪声干扰,当探针站在电极上,防止针在电极上刮来刮去影响到彼此的接触。 信号进出频率愈高愈是在意。 客户端经常出现的问题,这个实验室以及整栋建筑物在结构设计上就比较脆弱,很容易产生共振,当微小的震动来的时候,随着楼层越高,震动到实验室的现场位置被放大了更大。 奕叶都会派工程师到现场量震动,机器进场前选择适当的地点安装!

2.探针台

穏定的台体,硬件机械架构的强度与其重心配置。 其次为载台的XY、Z滑台及显微镜XY功能、精度、稳定性及操控性都至关重要。

3.探针座

有别于直流量测的探针座,高频量测时探针座本身的重心配置的稳定性要高之外,控制探针的机械调整精度必需1 micron 以上,下针后滑行距离可细腻调整到不同应用及材料所需的接触应力。 频率愈高,间距愈窄,控制探针的每一步的步进量也需愈小。 频率在90GHz以上的架设,在探针座本身的稳定及精度之外,要将探针座背另外一个倍频器一起规划,出现了其他的挑战,如何将大尺寸的倍频器收纳及超小倍频器在瞬间产生大量的热能的消散问题,设计上是一大考验。

4.探针

探针是元件与仪器信号之间的直接硬件接口,厂牌的选用也会影响到量测结果的可靠及重复性,校正数据库宏,可提供可靠之外,较深及较广的后续量测咨询。




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