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奕叶探针台(EVERBEING)
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中国台湾奕叶CG-196高低温探针台的探针座架设在真空腔体外侧,在不破坏温度及真空环境的情况下,随着元件的冷缩热膨,探针座可配合将探针做重复修改下针. 为消除来自于真空帮浦及地的震动,内置主动气浮式防震桌. 探针座少2 组多8 组,真空10exp-3 Torr 到10exp-6 Torr, 甚至提供腔体正压到达10atm,超低温达4度K ,超高温达1200°C。
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