迷你探针台

迷你探针台特色：

1、C-2奕叶紧凑型探针台，体积小便于移动携带，可兼顾直流和射频测试，可放入手套箱中

2、 内置抗震胶囊及吸盘，*低重心同轴滑台是机台稳固的条件下而达到轻量以及小型化，高性价比.

3、 吸盘同轴滑特XY旋钮一上一下配置，方便XY快速切换，使组件达到快速25mm/转及精细10micron调整的方便性， 4、 除了DC直流应用之外及RF射频也能胜任到67GHz应 用.DCx6 或 RFx4 DCx2

C-2系列探针台体积小、重量轻和高性价比探针台

一、迷你探针台简述

中国台湾奕叶C-2系列探针台内置*抗震胶囊及吸盘*低重心同轴滑台是机台稳固的条件下而达到轻量以及小型化，高性价比，C-2系列探针台的吸盘同轴滑特XY旋钮一上一下配置，方便XY快速切换，使组件达到快速25mm/转及精细10micron调整的方便性，除了DC直流应用之外及RF射频也能胜任到67GHz应 用.DCx6 或 RFx4 DCx2

中国台湾奕叶C-2系列探针台底座配备*抗震囊，可让探针台体稳定，电性量测无震动干扰，省去购买防震垫或防震桌的预算，同轴滑台可以快速移动寻找DUT，同时又兼具10micron的微调定位精度。 C-2系列探针台的厚度只有25 mm，大大降低了探针台的重心高度。 友商产品多数只有配置微调滑台而没有快速寻找的功能（也就是从晶圆的边到边，用手转都要上百圈）或是为达到快速寻找功能而下方配备另一快速滑台，这两个滑台增高了许多，整个机台重心突然变高，大大增加了稳定、重复、及高速量测的风险。

奕叶探针座细牙技术，是one micron 的稳定定位*，接轨的生产线将探针座身体高度矮化及宽度窄化，可实现射频x4及直流x2或直流x6可能性。

奕叶探针座底附磁性开关，大大降低探针座的定位时间。 就好像车子发动后，马上就要开去目的地那边出任务，客户用探针台的时候就是要做电信量测出任务一样，在用之前定位这些探针座的位子是必须的，因为市面上多数探针座每一轴 的移动范围都只有在12.5mm左右，只能在那12.5mm的移动范围内来使用，那定位的时间如果越短的话，大大增加电信量测在使用探针台之前的方便性，省得时间就是。 目前奕叶的磁铁开关底座，厚度非常薄、拨杆非常顺畅、磁铁去除非常干净、磁性非常强及防锈处理很好。

二、技术指标

l 2英寸卡盘

l X-Y轴移动范围2英寸-2英寸

l 同轴卡盘，单手可操作X-Y轴移动

l 设计，体积更小更轻，便携式

l 可放置于手套箱内使用超清数字CCD显微镜，USB连接

l 可兼顾直流和射频的测试，C-2-RF型号更可搭载4个射频针座、2个直流针座

三、附件

l 镀金卡盘

l 射频探头/线缆

l 有源探头

l 高低温选件

四、应用

l 越来越多的产品需要在常温无氧或高温无氧下量测，这种体积小的探针台可以放到氮气建制无氧环境的手套箱内量测，

l 手套箱吹的干氮气或空气建立成一个干的环境，所以环境也可以架设冷吸盘给冷环境量测，测量组件不会产生结露结冰现象。

l 与光电元件共同架设在一个大的面包板防震桌上。

l 在大的太能模拟光下直接架设。

l 可在一个仪器架上面架设，上面层是屏幕，下面层是仪器，中间层是探针台。

l 空间面积受限的场地，只要40×40公分的面积就可以架设一台。

l 数字显微镜可以被换成选配的四点探针头，作为前段薄膜制程改进用的偏电阻量测使用，在电路制做完成后数字显微镜又换装回去，马上可以转回成电性量测探针台。

l 当电性量测需要跟其他实验室借仪器时，可以直接携带探针台过去链接，避免仪器搬运的损坏风险。

l 与其他客户执行合作计划时，可将探针台直接搬到客户那做电性量测验证。