010-82582916 021-58955573 0755-33268157

当前位置:首页  >  产品展示  >  奕叶探针台(EVERBEING)  >  EB系列高性价比探针台  >  EB-6奕叶探针台EB系列

奕叶探针台EB系列

简要描述:中国台湾奕叶EB系列探针台同轴旋钮,可单手同时操作卡盘XY轴移动,样品可快速移动到给定位置进行量测。

  • 产品型号:EB-6
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2022-03-01
  • 访  问  量:109

详细介绍

品牌其他品牌价格区间面议
自动化度全自动产地类别国产
应用领域化工,能源,电子真空吸附卡盘6"c

奕叶探针台EB系列

637816527396244825438.png



一、显微镜操控规格


l 显微镜后侧有X/Y轴调节小摇轮,可调节显微镜在x-y方向的移动,移动范围2"X2",精度1μm。

l 显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮,粗旋钮方便快速调焦,细旋钮方便精确调焦,使显微镜在Z轴方向行程50.8mm,移动精度10μm。


二、台面规格


l 探针台台面平整度:5μm。

l 探针台台面为固定台面。


三、卡盘(载物台,即图中的chuck)规格


l 6" 卡盘,卡盘平整度:5μm,采用真空吸附方式吸附,带真空吸附孔,中心孔径 250μm-1mm(可根据客户需求定制孔径大小),最小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm,最大能够吸住尺寸为6"X6"。

l 卡盘可360度旋转,旋转角度可微调,微调精度为0.1度,带角度锁定旋钮。

l 卡盘座有小摇杆,提起90度后,可以使卡盘快速线性上升4mm,在做wafer点测时方便快速移动点测位置,同时做普通die或者decap后芯片点测时,方便快速更换样品。

l 卡盘X,Y轴调节旋钮可以控制卡盘做X-Y方向的移动,移动范围为6"X6",移动精度为10μm,为方便点测的稳定性,带有锁住功能如果点测6"wafer的时候,可以保证6"wafer的每一点都能够点测到。


四、性能


l 真空吸附卡盘:对应可选6"产品

l 卡盘X-Y方向精确线性移动行程:6"-6"

l 线性无回差调节

l 卡盘上/下移动行程:4mm

l 4", 6", 8", 12" 晶圆 (晶圆尺寸)

l 样品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"

l 卡盘平整度: 10um

l 卡盘旋转角度:0~360°


五、附件


l 显微镜倾仰装置

l 镀金卡盘

l 射频测试探头/电缆

l 有源探头

l 低电流/电容测试

l 高压测试

l 激光修复

l CCD/数字相机,USB接口

l 探针卡/封装/PCB板夹具

l 加热装置

l 防震桌

l 屏蔽箱








产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
扫一扫访问手机站扫一扫访问手机站
访问手机站