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四点探针台

简要描述:四点探针台机台的手臂可快速更换模块式探针头,探针头将针尖间距及压力参数固定,当探头的探针点在基板上时, 附有内藏弹簧的探针会将四根针同时收缩,在固定的下压应力使测量的稳定性增加,外搭仪器Keithley 2400 /Keysight 2900可做测量.

  • 产品型号:SR-4
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2021-11-17
  • 访  问  量:177

详细介绍

品牌其他品牌产地类别国产
应用领域化工,电子,电气

四点探针台

       使用四点探针台,机台的手臂可快速更换模块式探针头,探针头将针尖间距及压力参数固定,当探头的探针点在基板上时, 附有内藏弹簧的探针会将四根针同时收缩,在固定的下压应力使测量的稳定性增加,外搭仪器Keithley 2400 /Keysight 2900可做测量.在制程改进方面只要将V/I这个数值彼此的位置互相比较或跟上一次V/I比较为参考,不需要再乘上一些其它系数做太复杂的演算.可以选购奕叶的软件使操作简单化及自动化,适用于半导体、太阳能、OLED、微机电、燃料电池等各式产业。

一、规格

l 探针间距:40mil,62.5 mil

l 探针压力:80g

l 探针材质:BeCu Tungsten Carbide

l 高温选配:High Temp. 200 ℃   


l 卡盘尺寸可选择:6英寸、8英寸、12英寸;

l 材料:特氟龙

l 探针升降长度:10毫米

l 探针台Z轴升降精度为:1微米

l 探针材质:碳化钨、铍铜合金

l 探针距离:40mil、50mil、62.5mil

l 弹簧探针力度:45grams、85grams、180grams

l 探针直径:40.6微米 

l 尺寸:220mm长x420mm宽x250mm高

l 重量:20Kg

二、特点


l 可垂直上下移动

l 特殊恒定负载的弹簧探针

l 恒定的探针间距

l 可保持极大程度的重复性测试

l 探头方便更换

l 探针台顶部可调整Z轴移动

l 稳固的连接线在探针台后面

l 转接头可选择:Banana/ BNC/ Triaxial Female

l 卡盘可快速移动

l 可以配合加热吸盘使用

l 卡盘尺寸可以选择:6英寸、8英寸、12英寸

l 气动的SR-4可用开关控制升降

三、应用

l 薄膜偏电阻 Sheet Resistivity

l 体积偏电阻 Volume Resistivity

l 导电率Doping Quality

l 金属膜厚Metalization Thickness

l P/N极性P/N Typing

l 电流电压I-V特性 V/I Measurement

四、其他高级应用

l 高阻低电流

l 温度环境下量测RT~200℃

l 超高温RT~1200 ℃

l 无氧环境下

l 微小间距最小10 micron

l 大面积尺寸基板1200mm×900mm

l 仪器结合软件

l 自动移动测量


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