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加热卡盘

简要描述:加热卡盘:如果实验样品需要在不同温度下进行分析测量,这时就可能需要热吸盘(Hot Chuck)或者低温(Cryogenic)系统,
在较高温度或低温下还可能需要使用真空罐(Vacuum Chamber)。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2021-11-17
  • 访  问  量:79

详细介绍

品牌其他品牌产地类别国产
应用领域化工,电子,电气

如果实验样品需要在不同温度下进行分析测量,这时就可能需要热吸盘(Hot Chuck)或者低温(Cryogenic)系统,
在较高温度或低温下还可能需要使用真空罐(Vacuum Chamber)。

热吸盘(Hot Chuck)
1.采用低噪声直流驱动
2.绝缘套件用于低电流(pA)测试
3. 配备水冷装置,快速将加热卡盘降至室温
4. 大多数探针台可安装
5. 不需特殊连接适配器即可安装
6. 卡盘材质为不锈钢,以获取均温性,避免重金属沾污
7. 配备温度控制器,可选多种加温曲线
8. 设计有冷却隔绝装置,保证热吸盘温度不会通过金属传导而引起探针台整体精度下降

加热卡盘规格:

卡盘尺寸

3", 4'', 6'', 8'', 12" dia. x 1'' Thick

卡盘平坦度

+/-10μm

温度范围

RT-200゚C

温度分辨率

0.1゚C

温度准确度

100゚C,±0.5゚C; 200゚C,±1゚C; 300゚C,±2゚C; 400゚C,±3゚C

从25゚C加热到    
   4英寸卡盘所需时间(典型值)

100゚C,  150゚C,  200゚C
2:00      3:30     5:00

4英寸卡盘所需时间  2:00 、  3:30   、5:00


加热驱动方式

直流

材料

不锈钢

 

电源

110 VAC, 60Hz
220 VAC, 50Hz

加热功率

4'' 700W ;  6'' 1000W ;  8'' 1500 W

真空泵

-250 mmHg, 7 liter/min

水流量

20 升/分钟


温度控制器
尺寸
重量

 
350mmW x 300mmD x 150mmH
20 kg

 

附件与升级:
温度高可达 300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃, 800 ℃
温度低可达 5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低温77 °K
连接适配器,用于与其他品牌探针台的装配
方形卡盘,根据要求定制
更高精度、高均匀性、快速升温等,根据要求定制
水冷却槽
绝缘套件,用于低电流测试
液晶套件
真空罐
C-V测量附件
测量仪器与带脚轮的仪器机柜
真空圈,客户订制
镀金卡盘
镀镍卡盘


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