加热卡盘-北京锐克天成科技有限公司

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奕叶探针台（EVERBEING）

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详细介绍

品牌	其他品牌	产地类别	国产
应用领域	化工,电子,电气

如果实验样品需要在不同温度下进行分析测量，这时就可能需要热吸盘(Hot Chuck)或者低温(Cryogenic)系统,
在较高温度或低温下还可能需要使用真空罐(Vacuum Chamber)。

热吸盘(Hot Chuck)
1.采用低噪声直流驱动
2.绝缘套件用于低电流(pA)测试
3. 配备水冷装置，快速将加热卡盘降至室温
4. 大多数探针台可安装
5. 不需特殊连接适配器即可安装
6. 卡盘材质为不锈钢，以获取均温性，避免重金属沾污
7. 配备温度控制器，可选多种加温曲线
8. 设计有冷却隔绝装置，热吸盘温度不会通过金属传导而引起探针台整体精度下降

加热卡盘规格：

卡盘尺寸	3", 4'', 6'', 8'', 12" dia. x 1'' Thick
卡盘平坦度	+/-10μm
温度范围	RT-200ﾟC
温度分辨率	0.1ﾟC
温度度	100ﾟC,±0.5ﾟC; 200ﾟC,±1ﾟC; 300ﾟC,±2ﾟC; 400ﾟC,±3ﾟC
从25ﾟC加热到 4英寸卡盘所需时间(典型值)	100ﾟC, 150ﾟC, 200ﾟC 2:00 3:30 5:00
4英寸卡盘所需时间 2:00 、 3:30 、5:00
加热驱动方式	直流
材料	不锈钢

电源	110 VAC, 60Hz 220 VAC, 50Hz
加热功率	4'' 700W ; 6'' 1000W ; 8'' 1500 W
真空泵	-250 mmHg, 7 liter/min
水流量	20 升/分钟

温度控制器尺寸重量	350mmW x 300mmD x 150mmH 20 kg

附件与升级：
温度高可达 300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃, 800 ℃
温度低可达 5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低温77 °K
连接适配器，用于与其他品牌探针台的装配
方形卡盘，根据要求定制
更高精度、高均匀性、快速升温等，根据要求定制
水冷却槽
绝缘套件，用于低电流测试
液晶套件
真空罐
C-V测量附件
测量仪器与带脚轮的仪器机柜
真空圈，客户订制
镀金卡盘
镀镍卡盘

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